『クラスターイオンビーム基礎と応用: 次世代ナノ加工プロセス』はヤフオクでから12月18日 11時 12分に出品され01月07日 11時 12分に終了予定です。即決価格は8,580円に設定されています。現在184件の入札があります。決済方法はYahoo!かんたん決済に対応。鹿児島県からの発送料は落札者が負担します。ＰＲオプションはYahoo!かんたん決済、取りナビ(ベータ版)を利用したオークション、即買でした。
クラスターイオンビーム基礎と応用: 次世代ナノ加工プロセス
出版社日刊工業新聞社 (2006/10/1)
発売日2006/10/1
言語日本語
単行本223ページ
内容説明
本書は、イオンビーム技術の発展を、その技術的背景もあわせて示しながら、イオンビーム技術に初めて接する初心者にもわかりやすく説明しています。
目次
１ イオンビーム技術の概要（イオンの発見；イオンビーム技術の誕生 ほか）
２ ガスクラスタービームの発生（ガスクラスタービームの発生の原理；ガスクラスターイオンビーム装置 ほか）
３ クラスターイオンビームと固体表面相互作用（クラスターイオンの個体表面衝突現象；ガスクラスターイオンの照射効果の特長 ほか）
４ ナノ加工プロセス応用（半導体デバイス応用；磁性・誘電体デバイス応用 ほか）
５ 産業用クラスターイオンビーム装置（ガスクラスターイオンビーム装置；デカボランイオン注入装置）
商品の情報
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